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September 2024 | Trade Fair News

2024 國際半導體展

Breaking Limits: Powering the AI Era  賦能AI 無極限

 

親愛的讀者您好, 

德國經濟辦事處誠摯邀請您與我們一同在此次的SEMICON Taiwan 2024 共襄盛舉! SEMICON Taiwan 2024將於今年9/4-9/6台北南港展覽館1館&2館盛大展出,參與大廠更甚以往,現場將匯聚1,000家廠商、涵蓋3,000個攤位! 

今年SEMICON Taiwan 將以「Breaking Limits: Powering the AI Era」為主軸,聚焦最熱門的半導體議題,包括綠色製造、異質整合、材料、台灣在地化、測試、人力發展等。此外,為因應市場趨勢與需求,SEMICON Taiwan 2024將新增人工智慧、智慧移動、矽光子、精密機械等展區。

此外,自 9 月 4 日起,一系列國際論壇將在現場舉行,為全球微電子供應鏈中的專業人士介紹最新的技術趨勢和前沿應用。這將再次為產業內的深度合作、知識分享和創造新的市場機會提供一個獨特的平台。

無論您是科技專業人士、商業領袖或企業家,SEMICON Taiwan 都將是您不容错過的年度盛事。與我們一起見證半導體科技的進步與創新。

在本期特刊中,您將看到我們對德國館所有相關展商的報導、公司介紹以及他們所提供的產品與服務。如果您有其他任何疑問,歡迎隨時聯繫我們團隊的資深經理 彭思婷 小姐 (peng.venus@taiwan.ahk.de),我們將為您提供服務。 
 
德國經濟辦事處 展覽組 
博智顧問有限公司 
德國經濟辦事處之服務執行單位 


展覽資訊

  • 日期:2024年9月4至6日
  • 德國館位置:
          南港展覽館一館1樓 (攤位號:J2646)

2023 展後數據

  • 62,000+位參觀者
  • 950 間參展商,3,000 個攤位

國際半導體展相關活動

  • 科技菁英領袖晚宴
  • 高科技智慧製造論壇
  • 主題專區
  • 聯誼交流活動
  • 商業媒合

德國館現場活動

德國館歡樂時光:展期間每日下午三點開始至閉展

德國館展商分享


德國館展商(依字母順序排列)

(點擊公司名稱獲取更多資訊)

attocube systems AG| 台灣巴斯夫股份有限公司 | centrotherm clean solutions GmbH | Chipmetrics | DEAXO GmbH | FHR Anlagenbau GmbH | Freiberger Compound Materials GmbHHyprostatik Schönfeld GmbH | mechatronic systemtechnik gmbh | 台灣麥威德有限公司 | Orbitalum Tools GmbH | Plasmatreat GmbH | Primelite GmbH | Saxony Trade & Invest Corp.| uv-technik Speziallampen GmbH

attocube systems AG

attocube 創建於 2001 年,來自德國慕尼黑。 公司 自創立以來一直致力於研發與生產於奈米 級應用的組件和系統,例如高精密壓電平台、雷射干涉儀、低溫顯微鏡和奈 米級分析 系統。至今無論在工業或是研究領域都有傑出的表現,已成為奈米技術解決方案的領先先驅 。
attocube的客戶來自 40 幾個不同國家以及專業領域 ; 特別是在半導體方面 , attocube 的高精度元件能夠滿足半導體的極
端條件、高精度和可靠性要求,並為半導體應用提供尖端技術。
產品/服務名稱

雷射干涉儀 IDS3010

attocube 的 IDS3010 雷射干涉儀能夠實現奈米等級的位移測量。 IDS301 的模組化 和小型化設計採用 Fabry-Perot 干涉原理,其感測探頭可直接對準目標測量,使精密測量能更加簡易與廣泛應用。

IDS3010其輕量化體積設計 便於直接集成至設備中,是具有挑戰性的 OEM 和半導體應用的首選產品。我們也能 根據客戶不同的量測距離及環境需求提供產品客製化以滿足客戶的挑戰性要求!

黃光微影製程高精度定位追蹤

在黃光微影製程裡,數奈米尺寸大小的電路圖案從光罩通過各種透鏡投射到晶圓上,過程中的超高精度對準系統是整個光刻製程中最高品質的關鍵條件。

attocube的 IDS3010 雷射干涉儀為目前業內最小體積設計,並配備真空及耐高溫 低溫等極端環境用的感測探頭,可以輕鬆安裝在黃光微影製程機台內,確保關鍵組件之間可以實現奈米精度對位,並提供高達 10 MHz 頻寬 的高速數據傳輸 。

半導體晶圓載台閉迴路校正控制方案

當今EUV 機台設備和電子束技術的蓬勃發展,實現奈米級的定位精度變得愈發重要,例如晶圓、光罩、光束、光學元件及鏡片的定位。特別是快速和長距離移動,只有在使用相對應的量測系統與運動控制器間進行閉迴路回授訊號控制時才能達到此精度。這些量測系統必須滿足包括超高真空(UHV)和無塵室相容性、高溫暴露,以及隨著晶圓尺寸的增大,對大範圍移動精度的需求。

attocube 模組化設計的干涉儀-IDS3010與其袖珍型感測頭可以直接整合到機台設備中,即使在高真空和超高真空等極端條件下,也能實現奈米級精度的線性和角度測量以及閉環控制。感測頭的高靈活安裝可實現 6個自由度分析,10 MHz 頻寬的高速數據傳輸,可實現超快速平台振動分析,從而在光罩檢查期間實現超高精度。

台灣巴斯夫股份有限公司



在巴斯夫,我們創造化學新作用—追求永續發展的未來。我們將經濟上的成功、社會責任和環境保護相結合。巴斯夫在全球約有112,000 名員工,為遍佈全球各類產業客戶的成功做出貢獻。我們的產品分屬六大業務領域: 化學品、材料、工業解決方案、表面處理技術、營養與護理、農業解決方案。

巴斯夫於1969年在台灣成立分公司,目前在台北、桃園、彰化、高雄等設有營業據點及工廠,並於屏東設有農業試驗站。
產品/服務名稱

電鍍銅鍍液與添加劑  CUPUR® U / CUPUR® T

CUPUR® U 與 CUPUR® T為銅電鍍產品,用於先進封裝應用的電鍍製程。產品客製化,符合客戶的導線分佈設計,能符合客戶追求高標準及高可靠度的電鍍速度與品質需求。

環保型去光阻劑 FOTOPUR® S

FOTOPUR® S去光阻劑為半導體製造後段製程而設計,是高效率及環境友善的光阻剝離化學劑,FOTOPUR® S去光阻劑無添加NMP,是符合安全法規的化學產品。

無塵室黃光照明解決方案

採用專利材料實現超高效的光譜轉換,提供可靠且高效率黃光微影製程的照明方案。

既有濾光(Filter)技術:

可以阻擋小於 520 nm波長的光線,但導致光損失。

巴斯夫的色轉換(Color Conversion)技術:

完全吸收藍光並轉換成大於530nm 波長的光線,可大幅減少光損。


 centrotherm clean solutions GmbH


centrotherm clean solutions, now united with Busch Vacuum Solutions and Pfeiffer Vacuum under the umbrella of the new Busch Group, is a leading global supplier of equipment and technology for the treatment of gaseous, liquid, and solid pollutants with the goal of protecting the environmental health and safety of others. Customer satisfaction is the most important benchmark for us. We successfully treat the most difficult abatement processes worldwide. With more than 60 years of providing our customers with sustainable exhaust gas solutions, we have the expertise you need for your abatement challenges. We have the perfect solution for PoU treatment for Semiconductor, PV, FPD and LED industries and R&D. Engineered and manufactured in Germany with support locations worldwide.
產品/服務名稱
Thermal Gas Treatment

In thermal gas treatment, harmful gases are broken down at very high temperatures and scrubbed in the downstream wet stage. We have three different thermal systems using different fuel source in our product portfolio.

Product Detail

Burn-Wet Scrubber CT-BW

Fuel source: CH4, Propan, Hydrogen…etc

High destruction and removal efficiency (DRE) – especially for climate-damaging PFCs

Reliable disposal of particles and gaseous by-products

Safe and media-saving operation under challenging process conditions

Thermal-Wet Scrubber CT-TW

Fuel source: electric heater

Reliable disposal of flammable waste gases and gaseous by-products

Lower installation costs (no fuel gas and oxygen required)

Plasma-Wet Scrubber CT-PW

Fuel source: Plasma source

Suitable for waste gas treatment from CVD and etching processes

Reliable disposal of praticle and gaseous by-products
Wet Scrubber CT-W

In the wet scrubber, water-soluble harmful substances in the waste gas are washed out and transferred to the liquid phase.

Product Detail

  • Suitable for treating waste gases from various applications including etching and EPI processes
  • Efficient and cost-effective treatment of HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 and NH3 along with other acidic and alkaline waste gases
Low operating costs due to minimal fresh water consumption
Dry Bed Absorber CT-D

In the dry bed absorber, harmful gases are converted into non-volatile, inorganic solids that are permanently bound to the granules.

Product Detail

Easy installation and requires only electricity and compressed air or nitrogen for the operation.

Dry bed absorber as a passive system ensures continuous disposal of waste gases even in the event of a power failure.

Granules specifically developed for semiconductor and photovoltaic applications guarantee safe disposal of harmful gases.

Chipmetrics



在Chipmetrics,我們提供創新的計量測試片和測試晶圓,用於半導體製程開發及控制。我們先進的解決方案可以廣氾的應用於薄膜製程開發、設備認證,以及半導體和先進材料製造的品質保證。

我們是使用三維高深寬比測試結構進行薄膜一致性測量的領先專家。我們的主要產品,PillarHall® 測試片,提供了一種簡單、快速且精確的方法來表徵薄膜製程的一致性,並解決超高深寬比結構測量的挑戰。典型應用包括原子層沉積(ALD)和化學氣相沉積(CVD)等薄膜沉積製程。Chipmetrics成立於2019年,總部設在芬蘭東部城市約安蘇,同時在德國設有辦公室,在日本,台灣,韓國和美國有代理商合作夥伴。

產品/服務名稱
PillarHall Test Chip

PillarHall LHAR4 測試片設計有橫向超高深寬比測試結構(深寬比>1000),在用於 ALD 和 CVD的 薄膜表徵時,可用作測量深槽中薄膜一致性和薄膜側壁特性的工具。

Pocket Wafer

Chipmetrics 的口袋測試晶圓的目的是為了讓 Chipmetrics 的測試片在晶圓級製程中更易於使用。具有測試片槽位的測試晶圓設計用於攜帶多個 15x15 毫米的測試片,這樣就可以為3D NAND和DRAM代工廠提供可用於測量薄膜鍍膜一致性的檢測方案。可供選擇的測試晶圓尺寸有 150 毫米、200 毫米和 300 毫米。

Chipmetrics 測量服務

Chipmetrics 測量服務提供薄膜一致性(橫向滲透深度)分析數據。該服務的前提是在 Chipmetrics PillarHall® LHAR4 測試片上沉積可以測量的樣品薄膜。


DEAXO GmbH



THE ENGINEERING COMPANY

DEAXO is a German engineering company, specialized in the project management, consulting, design and engineering for cleanrooms and process facilities for new fabs as well as upgrade of the existing ones. Our expertise is based on decades of experience in high-tech projects, especially in the semiconductor industry, with the focus on environmental safety, efficiency and reliability of equipment and systems.

DEAXO is involved in many state-of-the-art production facilities around the world. Our service starts from the initial idea, develops through the design phase, and results in the successful execution of the project. Our most demanded service is turnkey solutions and support throughout the entire project life-cycle – from the site survey over to the base-build design of facility/process systems until tool Hook-Up. We provide our service as a design company, EPCM or EPC for Base-build and Hook-up projects and PMC as part of Client team.


FHR Anlagenbau GmbH


FHR Anlagenbau GmbH是為研究和工業領域提供薄膜技術專用設備和系列產品的全球供應商。
公司成立於1991年,在德勒斯登附近的奧滕多夫-奧克里拉有大約200名員工。作為真空鍍膜系統的領先供應商,我們為電子、MEMS和感測器技術、精密光學和顯示器、太陽能熱能和光伏等行業都提供我們先進的薄膜解決方案。我們的設備平台採用濺鍍、氣相沉積、PECVD和ALD技術。我們是家專注薄膜領域的科技公司,這反映了我們的願景和我們對自身的要求。
產品/服務名稱
FHR-star-產品系列

我們的FHR.Star真空鍍膜設備提供先進的薄膜鍍膜解決方案,旨在滿足半導體產業的嚴格需求。憑藉模組化配置和可擴展架構,該系統確保了靈活性和高效性,使其成為研發和大規模生產的理想選擇。
該設備支援多種沉積工藝,包括物理氣相沉積PVD、化學氣相沉積CVD和等離子體增強化學氣相沉積PECVD,實現精確且均勻的鍍膜,這對於半導體應用至關重要。
在以創新和尖端技術為核心的2024年台灣國際半導體展會上,此設備為滿足了製造商們想要透過可靠的高性能鍍膜設備提升生產能力的關鍵需求。
FHR.Star產品系列專為行業領導者的需求量身定制,旨在優化製造流程並實現卓越的產品品質。

FHR.Line-產品系列

FHR的在線式真空鍍膜設備為半導體和電子行業提供量身定制的高產量薄膜鍍膜解決方案以滿足這些行業的需求。
該設備能夠對各種尺寸的基板進行均勻且精確的鍍膜,因此非常適合大規模生產環境。其模組化設計整合了磁控濺鍍、蒸發、PECVD等多種沉積技術,確保了其對不斷變化的生產需求具有多功能性和適應性。
這款在線式真空鍍膜設備成為希望提高效率、產品品質和生產可擴展公司的關鍵推動因素。該設備非常適合希望簡化操作流程,同時保持薄膜技術最高標準的製造商。

Coating Services

FHR利用最先進的真空技術提供專業的鍍膜服務,以提供客製化的薄膜鍍膜。這些服務適用於從原型設計和小批量生產到先進研究的各種應用。利用濺鍍和蒸發工藝,FHR確保鍍膜精確且一致,達到最高行業標準。
我們的鍍膜服務為半導體和電子製造商提供了寶貴的解決方案,使他們在無需投資大量內部設備的情況下提升研發能力。該服務使公司能夠探索新材料和新技術,確保其在競爭激烈的半導體市場中保持領先地位


 Freiberger Compound Materials GmbH



Freiberger is a worldwide leading compound semiconductor substrate supplier with more than 50 years of experience in the field of semiconductor materials. The company has established an outstanding reputation as a supplier of top-grade InP and GaAs wafers. Our efficient and highly automated production techniques – from synthesis and crystal growth to wafer polishing and cleaning - enable us to offer highest quality epi-ready wafers for microelectronic and optoelectronic applications.

We strive to lead compound material technology to enable semiconductor innovations. Reliability, innovation and sustainability are the main factors that determine our conduct of business.


Hyprostatik Schönfeld GmbH


Hyprostatik Schönfeld GmbH, which is specializes in hydrostatic systems, technology leader in the field of hydrostatic systems. we design and produce unique components and systems worldwide: hydrostatic guides, screw drives, spindles and bearings.

Machine tools equipped with the pioneering HYPROSTATIK brand technology offer clear competitive advantages! Minimal friction, no wear, no losses. With a significant gain in precision, performance and service life.
產品/服務名稱

純水液靜壓轉台(工件主軸) 特別適用於第三代半導體

包括外殼、工作台、靜壓徑向/軸向軸承、不銹鋼頂部、經吹氣產生間隙密封封,防止灰塵進入和液體排出,帶PM節流閥之液靜壓腔體、水冷式扭力馬達和圓筒型本體,完成組裝和測試。使用 LION Precision 同步跳動測試 0.1µm

純水液靜壓砂輪主軸 特別適用於第三代半導體

由主軸箱、主軸、靜壓徑向/軸向軸承組成,主軸經過硬化或氮化處理,經吹氣產生間隙密封進行密封,防止灰塵進入和液體排出,帶PM節流閥之液靜壓腔體,水冷扭力馬達,中心出水之旋轉接頭,已完成組裝和測試,包括用於電機接地的緩衝器。

使用 LION Precision 同步跳動測試 0.1µm



mechatronic systemtechnik, is a leading global supplier to the semiconductor industry specialized on fully automated handling systems for non-standard substrates and handling requirements. These solutions are capable of handling multiple wafer types and sizes in a single platform and also address complex handling requirements at the highest levels of safety and reliability. mechatronic systemtechnik’s product portfolio includes fully automated wafer loader (EFEM) systems, wafer packer, wafer sorter, cutting & removing of TAIKO ring and calotte loader. A trusted partner with major wafer fabrication plants and semiconductor equipment suppliers mechatronic systemtechnik has created a worldwide network and strong global service support aimed to offer fast and reliable solutions.

產品/服務名稱
Wafer Sorter (mWS)
Sorting, splitting and merging of all types of critical wafers and film frames.
Wafer Loader neo (mWL.neo)
Highly flexible modular EFEM for integration with metrology and process systems.
Ring Cutter and Remover (mRR & mLC)
A fully automated solution, cutting and removing of the ring are integrated into one process step improving productivity in combination with increased performance.

台灣麥威德有限公司


台灣麥威德有限公司為德國知名機器視覺軟體公司, MVTec Software GmbH 的台灣子公司。 MVTec Software GmbH 是全球領先的機器視覺軟體製造商,其產品廣泛應用於各種要求嚴苛的成像領域,如半導體產業、表面檢測、自動化光學檢測系統、品質控管、計量、醫療或監控。MVTec 的軟體在工業物聯網環境中,透過使用 3D 視覺、深度學習和嵌入式視覺等現代技術,實現了創新的自動化解決方案。此外,MVTec 還提供定制化的機器視覺軟體解決方案,涵蓋從諮詢、研究、產品原型設計到產品整合等完整服務。其軟體解決方案可以應用於標準 PC 或嵌入式硬體(例如,基於 Arm® 的系統)。MVTec 的團隊在處理各類型影像方面擁有豐富的經驗,包括 3D、紅外、高光譜和 X 射線影像。

產品/服務名稱
HALCON
HALCON是一款強大並带有整合開發環境 (HDevelop) 的標準機器視覺軟體,於全球被廣泛的應用。它能縮短軟體開發週期、節省開發成本。HALCON 靈活有彈性的架構便於各種機器視覺應用的快速開發,目前累積了多種產業的應用案例。無論是農業與食品中的自動採摘和分類,汽車與機器手臂的3D視覺技術,物流與包裝的質量檢測和識別,還是電子與半導體的表面檢查和缺陷檢測,HALCON 都能滿足高效生產和品質管控的需求,並提供最先進、最全面的3D 視覺和深度學習算法。
MERLIC

MERLIC 是一款無需編程即可快速建立機器視覺應用的一體化軟體,性能可靠且快速。其直觀介面 easyTouch 確保高效工作流程,節省時間和成本。MERLIC 靈活架構允許客製化軟體包,適應特定應用。

MERLIC 主要功能包括 3D 視覺、對齊、檢查、讀碼、計數、深度學習、缺陷檢測、測量和 OCR。它支援 x64 Windows 10 及更高版本、通用人工智能加速器,提供全面的影像採集、通訊介面和視覺化工具,是工廠自動化、製藥、內部物流和半導體等行業的理想選擇。
深度學習工具
使用 MVTec 軟體進行深度學習非常輕鬆簡便。從標註訓訓練數據開始,便是任何深度學習應用的關鍵步驟。這些標註數據的品質對應用的性能、準確性和穩健性有著重大影響。使用MVTec 的深度學習工具,您無需任何編程知識,即可透過直觀的用戶介面輕鬆標註數據。這些數據可以無縫整合到 HALCON 和 MERLIC 中,以執行基於深度學習的任務,如物體檢測、分類、語義和實例分割、異常檢測和 Deep OCR。此產品能優化訓練網絡,提是快速實現完整深度學習解決方案的途徑。

Orbitalum Tools GmbH


Orbitalum Tools GmbH 是世界領先的全套工業解決方案供應商,其領域包括在薄壁不銹鋼管的精確切割和坡口加工以及軌道焊接接領域,Orbitalum Tools GmbH 是全球領先的全套工業解決方案供應商。 從焊接準備到成品軌道焊縫,Orbitalum Tools GmbH 的客戶可以一站式獲得所有產品。我們的產品具有使用方便、質量一流和技術領先的特點。此外,我們還提供全面的、以解決方案為導向的客戶服務、全球技術支持和廣泛的銷售網路。
產品主要用於食品和飲料、化工、製藥、半導體以及航空航天工業。我們不斷開發創新、以客戶為導向的解決方案,並提供種類繁多的產品

產品/服務名稱
Smart Welder(SW智能焊接電源)
Smart Welder 是一種配備最新信息和通信技術的智能電源,可確保最佳焊接效果、高效率和可持續質量管理。
智能焊機的應用領域擴展到薄壁管道建設,包括半導體製造、食品工業、航空航天、製藥和化工以及熱交換器建設。

OWX

新型智能軌道焊頭
新一代智能軌道焊接頭 - OWX 焊接頭標誌著軌道焊接技術的重大進步。
OWX 焊頭設計纖巧,極具未來感,結合最新的智能功能,使其成為現代管道施工中的必備設備。

OWX 焊頭采用符合人體工程學的手柄和優化的夾緊裝置,操作簡便。它包括一個帶觀察窗和 LED 照明的翻蓋,用於精確對準。焊頭可與夾具無縫集成,手柄上有一個直觀的操作單元。

智能功能包括用於選擇喜愛程序的顯示屏、進度可視化、用於自動鎢極定位的陀螺儀傳感器和用於監控的溫度傳感器。

便於維護的設計允許快速檢修部件,維護周期由壽命周期數據決定。OWX 焊頭與所有 Orbitalum 電源、OWS 夾具和鎢極適配器兼容。

OW 17 - 微型焊接頭

與競爭對手的傳統系統相比,OW 17 憑借其可拆卸的夾緊盒、集成控製元件和主動冷卻功能脫穎而出。因此,它可以輕松、快速、可靠地焊接半導體生產中使用的薄管,尤其是高質量的焊接。

更多資訊


Plasmatreat GmbH


Plasmatreat成立於1995年德國。

作為常壓等離子表面處理和納米塗層解決方案的全球市場領導者,我們為全球汽車/電動汽車、半導體、消費電子和醫療設備等行業的客戶提供支援。

我們的應用專家與客戶一起分析具體的表面處理項目,並從概念到實施為客戶提供支援。我們進行可行性研究,為特定的處理方案開發最佳的等離子工藝配置,並提供長期老化試驗。

我們的 Openair-Plasma® 常壓等離子處理系統可用於工業化精細清洗和活化改性去除銅和錫表面的氧化物,我們的 PlasmaPlus® 常壓等離子表面納米鍍膜技術可實現封裝基板或引線框架/條帶基板表面的功能化鍍層。當基材的原始表面、高表面能特定的表面功能對後續工藝(如:wire bonding, die-attach, over moulding, (flux-less) TCB, bonding, sealing, or printing)至關重要時,等離子表面處理變得尤為重要。

在當今高度自動化集成的生產環境中,我們的客戶充分利用等離子系統配置中的制程監控和資料收集功能,實現可靠的全面資料記錄且實現歷史追溯的高效能的等離子處理工藝。這確保了始終如一的高品質產品,同時降低了成本,避免了有害環境和損害健康的化學工藝。

產品/服務名稱
半導體製造中的 Openair-Plasma®

真空等離子技術已在半導體行業應用了很多年。

我們設計研發的用於工業化表面精細清洗和表面活化改性的無電勢 Openair-Plasma® 常壓等離子系統是適用于處理高敏感電子元件的理想技術。在晶片封裝生產中,基材的原始表面、高表面能或特定的表面功能是成功的關鍵因素。

REDOX-Tool

通過使用混合氣體作為工藝氣體,我們的 REDOX-Tool 可以去除銅和錫表面的氧化物,從而實現無助焊劑焊接或熱壓焊接等尖端工藝。

這也意味著REDOX-TOOL可以取代目前使用的以甲酸或檸檬酸為基礎的傳統工藝,這些工藝不僅效率較低,而且對操作人員的健康構成比較大的威脅。

典型的REDOX-TOOL去氧化應用包括覆銅基板的高功率模組的生產、帶錫球的焊盤表面,或在燒結、模封或打線等工藝前的清洗和需進行表面預處理的其它基材。

REDOX-TOOL氧化還原系統可以實現不同的配置要求,滿足不同半導體封裝客戶的各種功能要求。

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Primelite GmbH



Primelite GmbH於2016年成立於德國慕尼黑,致力於開發先進的UV-LED光源成為替代各種放電燈系統的絕佳解決方案。完美的品質是我們的期望,創新的技術和快速的產品開發是我們成功的關鍵。

2016年於SEMICON Japan推出了第一台高功率UV-LED原型機--多功能光纖耦合先進光學引擎ALE/1。

Primelite UV-LED產品設計之初衷即以半導體應用為主要目標市場,除了採用最先進的UV-LED晶片外,其光學元件均是半導體等級,並嚴選關鍵零組件的配合廠商,及堅持德國設計製造的高品質保證。

透過先進的UV-LED曝光解決方案,我們的標準光源輸出性能以滿足半導體的光罩對準曝光機和晶圓步進曝光機為目標,後續亦推出經濟型UV-LED點光源系統,以滿足高功率/雙波長/高穩定性的UV固化需求。

台灣代理商:展締科技 (www.euflex.com.tw)

產品/服務名稱

先進UV-LED光學引擎 ALE/1C

Primelite的UV-LED 曝光系統ALE/1C是一種強大的點光源,適用於許多高性能UV曝光機,如 6吋/8吋光罩對準曝光機或寬頻晶圓步進機(1X stepper/mini stepper)。因著LED技術的特性,其表現往往優於傳統高壓汞燈,如優異的輸出穩定性和可彈性調整光譜範圍,同時具有低能耗、不產生太多熱能、使用壽命長,低維護成本等優勢。

Primelite 秉持將產品建置為多功能平台的原則, ALE/1C曝光系統於光路中可組合多達三種LED波長,如業界常見的i line (365nm)、h line (405nm)和g line (436nm),其照射功率可超過傳統1 kW汞燈。

先進UV-LED光學引擎 ALE/2

ALE/2 UV-LED曝光系統適用於需要均勻且準直光源的大型基板曝光機,如8”/ 12”光罩對準曝光機。其高強度UV輸出亦可為400x400mm(甚至更大)的方形曝光區域提供足夠的光源強度。ALE/2因著LED技術的特性,表現往往優於傳統高壓汞燈,如優異的輸出穩定性和可彈性調整光譜組成,同時具有低能耗、不產生太多熱能、使用壽命長,低維護成本等優勢。

ALE/2 曝光系統於光路中可組合多達四種具獨立回饋控制的LED,僅使用i-line其性能可與5KW的汞燈相媲美,寬帶應用可與2KW汞燈媲美。

先進UV-LED光學引擎 ALE/3

Primelite精密型UV-LED光源--ALE/3乃傳統汞燈光源的完美替代方案,適用於晶圓邊緣曝光(WEE)、光學檢查(AOI)和要求嚴苛的UV固化場域。

ALE/3於光源輸出、機台尺寸和控制介面等性能符合或超過一般200W汞燈UV固化設備的規格,甚或其他LED競爭對手於相當輸出功率的規格。

ALE/3 UV-LED 點光源根植於汽車製造業的量產需求,因裝配線的設備必須滿足最嚴苛的要求:精巧不佔空間、可整合於自動化產線且性能可靠度佳。ALE/3亦提供雙波長LED模組(365/405nm),可同時兼顧表層及深層的固化。

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Saxony Trade& Invest Corp.

 薩克森經濟促進會的工作範圍: 

• 在國內外為薩克森經濟基地宣傳助威
• 招商引資,為來薩克森州落戶或擴建的企業提供咨詢與指導
• 大力支持薩克森企業的增長
• 為開拓國內外市場提供信息和聯系
• 推廣促進海內外的銷售活動
• 接待來薩克森州參觀訪問的外國商務代表團
• 加強利用與薩克森的研究所、科研機構和高校合作的優勢,鼓勵國內外的企業在薩克森創業及增長
產品/服務名稱

Information about the region of the Free State of Saxony in Germany, especially around microelectronics business. We support companies to establish an entity at our region and network them. Since we are a governmental organization our services are free of charge.

Overview Flyer Saxon semiconductor industry

Overview Map Selected companies from the ICT / microelectronics sector in Saxony and regional focus areas

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uv-technik Speziallampen GmbH



uv-technik Speziallampen GmbH develops, manufactures and sells UVC-low pressure and medium pressure lamps, electronic power supplies, UVsensors, Submersible and Immersion tube systems, UV-measuring devices, System controller, Infrared lamps and suitable accessories.

All of our products are individually adapted to customer requirements. Consequently, they are used in complex ballast water systems, in drinking water treatment, in urban sewage systems or in of fish farm water circuits. Their use in ultrapure water systems and swimming pool technology has been established for years as well.


合辦單位

贊助商

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聯絡人


Venus Peng︱彭 思婷


展覽服務組 資深經理

博智顧問有限公司

德國經濟辦事處服務執行單位

Tel.: +886-2-7735-7524

email:peng.venus@taiwan.ahk.de


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